型号:JKZC-PRJ750
（一）产品概述:
JKZC-PRJ750是一款真空平板热压机，专为晶圆键合、薄膜转移和 LCP 层压设计，加热面积为 135x135mm~350x350mm。其工作温度为 750℃，压力为20T~40T。
（二）基本参数：
产品型号 | JKZC-PRJ750-4 | JKZC-PRJ750-12 |
电压和功率 | ·AC208-240V，50/60 Hz 单相 4.8KW | AC208-240T，50/60 Hz 单相 15KW |
加热平板(其他尺寸可定制) | 135x135mm 平面度<0.02mm(区域100X100mm) | 350x 350mm 平面度<0.03mm(区域250x250mm) |
2个平板距离(可放样品厚度) | 80mm | 200mm |
腔体尺寸和容积 | 670长x630宽X670高(mm)~28ZL | 670 Lx630Wx719H(mm) ~303 L |
加热平板承受压力 | 5T(750℃) | 5T(750℃) |
压缸行程 | 40mm | |
压力显示范围 | 2.00-5000.00kg | |
压力控制范围 | 50-5000Kg
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压机：
| 保压时间:1-9999min | |
恒压 | ±3kg |
（三）真空平板热压机结构
两块块加热平板工作温度750℃，采用高温合金制作加热元件插入加热板的中心，以实现快速加热。
2块加热板分别由2个温控仪表独立控温，50段程序控温在加热板的顶部和底部都安装了水冷套管，以辅助散热。进/出水管为外径12mm聚氨酯管
（四）压机参数：
1、压缸行程：40mm
2、压力显示范围:2.00-5000.00kg
3、压力控制范围:50-5000Kg
4、压机：保压时间:1-9999min
5、设备有两种工作模式:手动加压和自动加压。自动加压模式下设备带有恒压功能:当压力值达到目标值后，在保压的过程中，设备持续补压使压力保持在设定值。
6、恒压:±3kg
7、温度控制和压力显示：2块加热板分别由2个温控仪表独立控温，50段程序控温，控温土3℃温度控制器具备 PID 自动校准功能、过热保护以及断热电偶保护功能。工作温度:750℃<30分钟，连续工作温度700℃(情性气氛或真空环境下)加热速率:5℃/min
8、温度控制和压力显示：控制面板内内置了一款数字压力计(控制器)。您可以设定所需的压力值，这样就能使电动液压机到达压力值时自动恒压。
（四）真空腔体
1、电动液压机和加热板被放置在真空室内部
2、真空室由： ss304 不锈钢制成
3、真空腔体安装有一个真空密封门，直径300mm,有一个直径150m的石英窗口，4、便于装样品和观察：所有真空密封均使用硅橡胶0型圈
5、可选购安装了一个数字真空计(10E-4Torr)测量真空腔室的真空度
可选可选购设备(需额外费用)
5、需要一台循环水冷机，用于对过热的散热板进行冷却，以加快冷却速度。可选购真空泵，机械泵抽真空度300mTorr，分子泵系统抽真空度10-4Torr
应用注意：
此款热压机也可用于测量热电发电机模块(顶部受热，底部冷却)
