声学所 供应波纹管密封型压电执行器

波纹管密封型压电执行器.png 

波纹管密封型压电执行器由共烧型压电陶瓷及其波纹管封装膜片组成。产品位移大、响应快、推力大、发热很低、密封绝缘性好且循环寿命高,适用范围广,可用于集成电路制造、精密加工、细胞医学、高成像的纳米驱动、定位和减震单元。

特性:

高可靠性;

的纳米定位;

机械零损化;

工作温度:-30°C-150°C;

可达3600N;

波纹管密封型压电执行器规格系列

规格型号

长度

±0.1(mm)

静态电容

±20%(uF)

电压

(V)

位移

±10%(μm)

刚度

(N/μm)

推力

(N)

JKZK50-11-F

48

4

120

50

18

900

JKZK60-11-F

64

5.8

120

60

14

900