非标探针台
I (1)微型探针台
整机外形尺寸:约380mmL*300mmW*320mm H,重量:约10 kg；
双探针座平台镀镖设计，提高了针座平台和针座之间的吸附力；
ChJKZC-UCk XY微分头设计，行程25mm*25mm,2um；
ChJKZC-UCk大小：2英寸，中心吸附孔和多圈吸附环固定样品,均独立控制；
卡盘电学独立悬空，带4mm香蕉头插口,可以作为背电极使用；
台体底板带高性能防震海绵，可一定程度减小外界震动对测试的干扰;
整机人体工程学设计，操作简单，使用便捷。
| (2)倒装手动测试夹具
可给样品加载DC或者RF信号；
样品可在0~180度任意角度内进行旋转并固定；
具备微调功能，0.1度；
玻璃样品载台，高透光性；
可无磁化设计，在光学,电磁等环境中运用较为广。
| (3)光电流测试显微镜
可在原有光路基础上可以导入另一路光源，用于辐照样品以测试样品在特定波长及能量下电学性能；
显微镜设计为双光路或3光路，其中一路为导入光通路，另一到两路为成像光路导入光为平行的激光或其它线性光源 ,波长范围200nm~20000nm,中间可加入多个波片过滤,起偏及偏振角度无级360度调节。光斑辐照直径有650nm红光 指示。所有模块均可拉出设计，对导入光性质无影响；
导入光光路可选择光时间开关, 控制导入光的辐照时间，1ms,范围2ms~oo,在控制界面上可对各种参数进 行详细设置，成像光路为同轴照明金相成像，其中一路为1倍成像，可选择第2路成像，为物镜的0.25-10倍率，通常在高 低温测试系统里会用到，同一个物镜不切换，得到两个不同视野的成像。
4）TEC制冷卡盘
釆用TEC制冷，无需液氮，使用方便；
可给样品提供不同温度环境；
样品台大小可选，防干扰设计，具备良好的接地性能;
温度范围:负45°C~150°C,温度分辨率：0.1°C,
温度稳定性：土 0.3°C；
样品台微调升降，行程O-lOmm,10umo
(5)磁场探针台(无磁设计)
在探针台的基础上，可加载三维磁场，多维磁场，磁场强度，和间隙均可调整;
高刚性结构，所有零配件均采用无磁化材料；
可加载高低温，可同时进行DC和RF测试；
可以旋转，可客制化。
|⑹110g以上高频测试探针台
可配合市场主流扩频模块进行超高频测试；
大行程高探针座,X-Y-Z-Theta四轴控制；
显微镜可以在2英寸*2英寸*2英寸范围内移动,扩大了显微镜视场；
兼容直流与高频信号；
可以定制,可升级性强；
可以测试12英寸样品,探针台chJKZC-UCk具备升降功能，便于样品和 探针的快速分离。
(7)自动测试系统
自动探针测试系统，可以与半参，网分联动；
电动二维平台，可手动和电动操作；
ChJKZC-UCk XY轴运动行程100*100mm,复定位＜±lum；
X-Y轴驱动:电机+丝杆+光栅尺；
探针/光纤探针XYZ轴电动模块30*30*30mm,复定位W ±lum；
X-Y-Z轴驱动:电机+丝杆+光栅尺。
(8)可升降平台
产品型号：T-station
产品参数：
尺寸和重量定制；
单个探针座平台多可同时放置3个探针座；
探针座平台表面镀镖，增大与探针座之间的吸附力;
隐匿螺纹固定于标准蜂窝板，美观，并且方便拆卸；
平台可升降，升降高度和可定制；
可配合光电流显微镜使用。
(9)高纳米探针座
产品型号：
JKZC-DCH-20nm
产品参数：
X轴分辨率：20nm,行程30um (旋钮控制盒)；
YZ轴分辨率：10um,行程+-6.5mm；
釆用高压电陶瓷设计，可以固定步距拨动样品或者纳米线。
(10)毫米级手持式探针夹具
I产品型号
JKZC-DCH
I产品参数
整体尺寸:20*20*180mm;
万向调节旋钮，方向可调，松紧可调；
磁吸底座，直径20mm;
兼容弹簧针和晶圆针；
Cable接头可定制三轴，同轴或者其它。
(11) FA失效分析探针台
|产品型号：FA
I产品参数
探针台系统可以选用：4~12英寸JKZC-DN系列探针台。
激光系统可以选用美国ESI三波段激光器或者法国 quantel激光器
美国ESI (NEWWAVE)激光器参数
镭射波长1064和532nm和355nm
输出功率2.2mJ/pulse
击打频率lHz~50Hz
可加工的材质:Copper/Gold/Poly Silicon/Alu minum/Silicon Dixoide等
加工尺寸1微米(使用100X物镜)
加工尺寸40微米(使用50X物镜)
