JKZC-DM系列基础型探针台
|产品概要
JKZC-DM系列探针台是我司一款基于高校教育与实验室而研发的基础型晶圆测试探针台。其结构紧凑，设计精密，价格实惠，配置灵活，极具性价比。在高等院校教学和小型实验室科研过程中得到了广泛运用，配合对应的仪器仪表，用于测试各类器件的IV、CV、l-t、V-t,光电信号，1/f噪声测试，器件表征测试，RF射频等。如 果您的测试器件pad电极大于50um,此系列探针台是。
|技术特点
?整机一体化设计，结构紧凑占地小，可放置于手套箱内使用；
?自适应减震底座设计，可有效过滤环境中的震动源干扰；
? U型平台镀鎳设计，增大针座加载空间的同时还提高了针座平台和针座之间的吸附力。
详细参数
产品型号 技术参数 | JKZC-DM4 | JKZC-DM6 | JKZC-DM8 | |
探针台台体 | 主体材料 | 航空铝 | 航空铝 | 航空铝 |
整机尺寸（mm） | 500L*380W*520H | 550L*420W*520H | 600L*480W*520H | |
重量 | 30kg | 35kg | 50kg | |
自适应减震系统 | 自适应减震底座设计，可有效过滤环境中的震动源干扰 | |||
卡盘大小 | 4英寸,360度转动，可微调 | 6英寸,360度转动，可微调 | 8英寸,360度转动，可微调 | |
卡盘XY轴行程 | 4英寸*4英寸，10um | 6英寸*6英寸，10um | 6英寸*6英寸，10um | |
卡盘Z轴行程 | 快速升降5mm,微调升降行程6mm,丄微米（选件） | |||
卡盘材质 | 不锈钢镀金，具备更小的接触电阻 | |||
卡盘吸附方式 | 真空吸附，可选择环形吸附或者多孔吸附（适用于薄片） | |||
背电极测试功能 | 卡盘镀金，电学独立悬空，带2个4mm香蕉头插口，具备背电极功能 | |||
其它功能 | 带标准接地保护，可升级 | |||
针座平台 | 材质 | U型平台，Q235镀療，带接地端子 | ||
大小 | 多可放置4个探针座 | 多可放置6个探针座 | 多可放置8个探针座 | |
显7F系统 | 显微镜类型 | 体式显微镜/视频显微镜+CCD成像系统 | ||
倍率范围 | 16X~200X/40X~280X | |||
调焦范围 | 50.8mm | |||
显微镜移动 | 显微镜可绕立柱360度旋转，带2英寸高显微镜调焦机构，带显示器支架 | |||
CCD成像系统 | 2k或者4K相机，帧率60fps,带拍照/录像/测量功能等功能 | |||
探针座 | 种类 | 丝杆型/微分头型/经济型探针座 | ||
X-Y-Z行程 | 12.5mm-12.5mm-12.5mm | |||
机械 | 0.5um/0.7um/2um | |||
夹具 | 漏电 | 同轴夹具10pA/三轴夹具lOOfA | ||
接口形式 | 同轴/三轴/SMA/香蕉头/鳄鱼夹/裸线等接口 | |||
其它 | 选件 | 屏蔽箱/防震桌/射频系统/同轴/三轴加热卡盘/显微镜万向支架等 | ||
电力需求 | 220V/50HZ |