VKL-2/3/5/10系列真空等离子清洗机系统
关键词：等离子，13.56MHZ，真空清洗机，2L
产品介绍：
VKL-2/3/5/10系列真空等离子清洗机真空等离子清洗机是国内目前应用广泛的真空等离清洗机，性能优越，可以同时处理物理和化学等材料清洗材料。两档操作模式，两路气压操作系统，全触摸屏操作，处理参数任意设定，是目前高校先进材料清洗的重要设备。
产品应用领域：
1、光学器件、电子元件、半导体元件、激光器件、镀膜基片、终端安装等的超清洗。清洗光学镜片、电子显微镜片等多种镜片和载片。移除光学元件、半导体元件等表面的光阻物质，去除金属材料表面的氧化物。
2、清洗半导体元件、印刷线路板、ATR元件、人工晶体、天然晶体和宝石。
清洗生物芯片、微流控芯片、沉积凝胶的基片。
3、高分子材料表面的修饰。封装领域中的清洗和改性，增强其粘附性，适用于直接封装及粘和。改善粘接光学元件、光纤、生物医学材料、宇航材料等所用胶水的粘和力。
4、涂覆镀膜领域中对玻璃、塑料、陶瓷、高聚合物等材料表面的改性，使其活化，增强表面粘附性、浸润性、相容性，显著提高涂覆镀膜质量。
5、牙科领域中对钛制牙移植物和硅酮压模材料表面的预处理，增强其浸润性和相容性。
6、医用领域中修复学上移植物和生物材料表面的预处理，增强其浸润性、粘附性和相容性。对医疗器械的消毒和杀菌
主要技术参数：
型号 | VKL-2 | VKL-3 | VKL-5 | VKL-10 |
腔体材料 | 石英玻璃 | |||
腔体容量 | 2L | 3L | 5L | 10L |
内腔尺寸 | 100×200Lmm | 150×200Lmm | 150×270Lmm | 220×280Lmm |
射频电源功率 | 0-300W 可调 | |||
射频功率 | 13.56MHZ | |||
RF放射 | 无 | |||
频率偏移量 | 小于0.2KHZ | |||
等离子体轰击方式 | 从四周往中间 | |||
腔体内温度 | ≦30°C/ ≦65°C | |||
清洗时间 | 0-9999S可调 | |||
显示屏 | 3.8寸触摸屏 | |||
操作方式 | 自动和手动两种方式均可 | |||
噪音 | ≦56dB | |||
抽真空时间 | 启动到发辉光≦35秒（时间可调） | |||
真空检测 | 数字显示 | |||
冷却方式 | 强制风冷 | |||
腔体门 | 高强度铝合金，橡胶圈密封 | |||
真空泵控制方式 | 主机与真空泵联动，主机可以控制真空泵开关 | |||
供应电源 | AC220V/50HZ | |||
工作电流 | 不大于1.2A | |||
平衡 | 不倒翁橡胶，自动平衡、减震 | |||
外形尺寸 | 400x450x250 , 560x540x550, 650*550*475 | |||
流量计 | 精密两路 |
客户名单：
清华大学材料科学与工程系
中国科学院金属研究所材料科学与工程
燕山大学材料科学与工程学院
哈尔滨工业大学
上海交通大学材料学院复合材料研究所和金属基复合材料国家重点实验室
地球科学学院
四川省电子科技大学信息与材料国家实验教学示范中心
哈尔滨理工大学实验室
中国海洋大学材料科学与工程学院
华南理工大学材料与工程学院
中国地质大学(北京)材料科学与工程学院
复旦大学材料科学与工程学院
电子科技大学材料科学与工程学院
兰州大学材料科学与工程学院
昆明理工大学材料科学与工程学院